কোড# | 523-180Q |
---|---|
X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1800*1200) মিমি |
জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤3.5+L/200 ((um) |
কোড# | 502-120 জি |
---|---|
X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*200) মিমি |
মাত্রা(WxDxH) | (1237*740*1664) মিমি |
ওজন | 380 কেজি |
জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
কোড# | 522-180H |
---|---|
X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | 0.1um |
XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |