কোড# | 752-452 |
---|---|
আঠালো বেধ | 0.01~ 0.05 মিমি |
আবরণ প্রস্থ | MAX 280 মিমি |
তাপমাত্রা | MAX 250℃ |
আবরণ গতি | 2~4.5m/min নিয়মিত |
সাবস্ট্রেট সমতলতা | <10উ |
---|---|
আবরণ প্রস্থ | 450 মিমি |
সাবস্ট্রেট আর্দ্রতা | <15° |
সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা | 23±2℃ |
ফিল্ম গঠন পদ্ধতি | স্লট লেপ |