| কোড# | 542-310 |
|---|---|
| কর্ম মঞ্চ ভ্রমণ | 355x125 মিমি |
| এক্স/ওয়াই-অক্ষ ভ্রমণ | 200x120 মিমি |
| Z অক্ষ | 110 মিমি |
| পরিমাপ নির্ভুলতা | ≤3+l/200um |
| কোড# | ৫২৩-২৮০এন |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1200*1000) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.5+L/200(um) |
| কোড# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (৫০০*৫০০) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 300MM |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
| কোড# | 542-310 |
|---|---|
| কর্ম মঞ্চ ভ্রমণ | 355x125 মিমি |
| এক্স/ওয়াই-অক্ষ ভ্রমণ | 200x120 মিমি |
| Z অক্ষ | 110 মিমি |
| পরিমাপ নির্ভুলতা | ≤3+l/200um |
| কোড# | ৫২৪-২২০এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল(মিমি) | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | 2 এম |
| কোড# | 529-120 জে |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (500*400) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল(মিমি) | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤3.0+L/200(um) |
| কোড# | 529-120 এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল(মিমি) | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤3.0+L/200(um) |
| কোড# | 529-120 জি |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*200) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল(মিমি) | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.5+L/200(um) |
| কোড# | 525-020EP |
|---|---|
| গ্রানাইট স্টেজ | (390*220) মিমি |
| কাচের মঞ্চ | (229.5*129.5) মিমি |
| এক্স/ওয়াই অক্ষ ভ্রমণ | (200*100) মিমি |
| লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| কোড# | 500-030 |
|---|---|
| লেন্স | 0.3X ডাবল টেলিসেনট্রিক লেন্স |
| কাজের দূরত্ব | 110 মিমি |
| প্রশস্ত মাঠ | Ø 30 মিমি (28x24) |
| পরিমাপ নির্ভুলতা | ±2um |