| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| কোড# | 502-120 জি |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*200) মিমি |
| মাত্রা(WxDxH) | (1237*740*1664) মিমি |
| ওজন | 380 কেজি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| কোড# | 529-120 জি |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*200) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল(মিমি) | রেজোলিউশন: 0.5um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.5+L/200(um) |