| কোড# | 525-020 ডিপি |
|---|---|
| গ্রানাইট স্টেজ | (310*220) মিমি |
| কাচের মঞ্চ | (179.5*129.5) মিমি |
| এক্স/ওয়াই অক্ষ ভ্রমণ | (150*100) মিমি |
| লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| কোড# | ৫২৫-০২০পি |
|---|---|
| গ্রানাইট স্টেজ | (310*220) মিমি |
| কাচের মঞ্চ | (179.5*129.5) মিমি |
| এক্স/ওয়াই অক্ষ ভ্রমণ | (150*100) মিমি |
| X/Y রৈখিক দাঁড়িপাল্লা | রেজোলিউশন: 0.5 এম |
| কোড# | 512-350 |
|---|---|
| ওয়ার্কিং স্টেজের আকার | 355x126 মিমি |
| কর্ম মঞ্চ ভ্রমণ | 200x100 মিমি |
| ফোকাসিং | 90 মিমি |
| নির্ভুলতা | ≤3+L/200(um) |
| কোড# | 542-310 |
|---|---|
| কর্ম মঞ্চ ভ্রমণ | 355x125 মিমি |
| এক্স/ওয়াই-অক্ষ ভ্রমণ | 200x120 মিমি |
| Z অক্ষ | 110 মিমি |
| পরিমাপ নির্ভুলতা | ≤3+l/200um |
| কোড# | 542-310 |
|---|---|
| কর্ম মঞ্চ ভ্রমণ | 355x125 মিমি |
| এক্স/ওয়াই-অক্ষ ভ্রমণ | 200x120 মিমি |
| Z অক্ষ | 110 মিমি |
| পরিমাপ নির্ভুলতা | ≤3+l/200um |