| কোড# | ৫২৫-০২০পি |
|---|---|
| গ্রানাইট মঞ্চ | (310*220) মিমি |
| গ্লাস স্টেজ | (179.5*129.5) মিমি |
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (150*100) মিমি |
| X/Y রৈখিক দাঁড়িপাল্লা | রেজোলিউশন: 0.5um |
| কোড# | ৫২৫-০২০পি |
|---|---|
| গ্রানাইট মঞ্চ | (310*220) মিমি |
| গ্লাস স্টেজ | (179.5*129.5) মিমি |
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (150*100) মিমি |
| X/Y রৈখিক দাঁড়িপাল্লা | রেজোলিউশন: 0.5um |
| কোড# | 512-350 |
|---|---|
| ওয়ার্কিং স্টেজের আকার | 355x126 মিমি |
| ওয়ার্কিং স্টেজ ভ্রমণ | 200x100 মিমি |
| ফোকাস করা | 90 মিমি |
| সঠিকতা | ≤3+L/200(um) |
