| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| কোড# | ৫২৫-০২০পি |
|---|---|
| গ্রানাইট মঞ্চ | (310*220) মিমি |
| গ্লাস স্টেজ | (179.5*129.5) মিমি |
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (150*100) মিমি |
| X/Y রৈখিক দাঁড়িপাল্লা | রেজোলিউশন: 0.5um |
| কোড# | 512-350 |
|---|---|
| ওয়ার্কিং স্টেজের আকার | 355x126 মিমি |
| ওয়ার্কিং স্টেজ ভ্রমণ | 200x100 মিমি |
| ফোকাস করা | 90 মিমি |
| সঠিকতা | ≤3+L/200(um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |