| কোড# | ৫২৩-২৮০এন |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1200*1000) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.5+L/200(um) |
| কোড# | 521-320H |
|---|---|
| মার্বেল ওয়ার্কবেঞ্চ | (608*470) মিমি |
| গ্লাস ওয়ার্কবেঞ্চ | (456*348) মিমি |
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | কার্যকরী ভ্রমণ 200 মিমি |