| কোড# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (৫০০*৫০০) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | ৩০০ এমএম |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
| কোড# | ৫২৩-২৮০এন |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1200*1000) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.5+L/200(um) |
