| কোড# | 512-350 |
|---|---|
| ওয়ার্কিং স্টেজের আকার | 355x126 মিমি |
| ওয়ার্কিং স্টেজ ভ্রমণ | 200x100 মিমি |
| ফোকাস করা | 90 মিমি |
| সঠিকতা | ≤3+L/200(um) |
| কোড# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (600*500) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |
| কোড# | ৫২৩-১৮০ এম |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1500*1200) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤3.0+L/200(um) |
| কোড# | ৫২৮-১৮০ এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*400) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশনঃ 0.1mm |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.2+L/200 ((um) |
| কোড# | ৫২৮-১৮০ এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*400) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশনঃ 0.1mm |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.2+L/200 ((um) |
| কোড# | 525-180N |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1000*1000) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | ৩০০ এমএম |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
| কোড# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (800*600) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |
| কোড# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (800*600) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |
| কোড# | ৫২৩-১৮০ এম |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1000*800) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.0+L/200(um) |
| কোড# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (500*1600) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | ৩০০ এমএম |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
