| কোড# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (600*500) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |
| কোড# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (800*600) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |
| কোড# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (800*600) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.8+L/200(um) |
| কোড# | ৫২৮-১৮০ এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (300*400) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশনঃ 0.1mm |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤1.2+L/200 ((um) |
