| কোড# | ৫২৩-২৮০এন |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1200*1000) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| এক্স/ওয়াই/জেড অক্ষ লিনিয়ার স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| XY অক্ষ নির্ভুলতা | ≤2.5+L/200(um) |
| কোড# | ৫২৪-২২০এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল（মিমি） | রেজোলিউশন: 0.5um |
| পুনরাবৃত্তিযোগ্য | 2um |
| কোড# | ৫২৪-২২০এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল（মিমি） | রেজোলিউশন: 0.5um |
| পুনরাবৃত্তিযোগ্য | 2um |
| কোড# | ৫২৪-১২০এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল（মিমি） | রেজোলিউশন: 0.5um |
| পুনরাবৃত্তিযোগ্য | 2um |
