| কোড# | ৫২৪-২২০এইচ |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (400*300) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | 200 মিমি |
| X/Y/Z 3 অক্ষ রৈখিক স্কেল（মিমি） | রেজোলিউশন: 0.5um |
| পুনরাবৃত্তিযোগ্য | 2um |
| কোড# | 525-180N |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (1000*1000) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | ৩০০ এমএম |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
| কোড# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (500*1600) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | ৩০০ এমএম |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
| কোড# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y অক্ষ ভ্রমণ | (৫০০*৫০০) মিমি |
| জেড অক্ষ ভ্রমণ | ৩০০ এমএম |
| X/Y/Z অক্ষ রৈখিক স্কেল | রেজোলিউশন: 0.1um |
| গাইডেন্স মোড | যথার্থ রৈখিক গাইড রেল |
